Главная страница » Продукция » Материалы » Полимерные материалы » Резисты PMMA
Резисты PMMA

PMMA (полиметилметакрилат) — универсальный полимерный материал, который широко используется в микроэлектронике. Резист на основе ПММА- полимер ПММА ,растворенный в растворителе, таком как анизол (безопасный растворитель). Экспозиция вызывает расщепление полимерных цепей. PMMA чаще всего используется в качестве позитивного резиста с высоким разрешением в электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка ,предлагая чрезвычайно высокую разрешающую способность, легкость обработки и превосходные характеристики пленки. ПММА также используется в качестве защитного покрытия для утонения пластины, в качестве адгезионного соединения и  защитного слоя.

Материал применяется:

  • Утонение пластины
  • Защитные покрытия
  • ВПЭ- транзисторы
  • Многослойная технология с использованием Т-образных затворов
  • Прочие процессы электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка
Характеристики материала:

  • Позитивный  тон
  •  Применяется в электронной и рентгеновской литографии
  • Широкий диапазон толщины  пленок Устойчив к проявителям и реактивам  для удаления фоторезиста
  •  Отличная адгезия к большинству субстратов

Сополимерные резисты  производятся из смеси ПММА и ~ 8,5% метакриловой кислоты. Сополимер ММА (8,5) МАА обычно используется в сочетании с ПММА в двухслойных резистах для обратной литографии, в котором требуется регулирование размера и формы каждого слоя резиста . Стандартные сополимерные резисты  сделаны из этиллактата  и представлены в широком ассортименте толщины пленки. Все MCC ПММА и сополимерные  резисты имеются в наличии емкостью от 500 мл до 20 литров.

Материал применяется:

  • Многослойная технология с использованием Т-образных затворов
  • Прочие процессы электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка
Характеристики материала:

  • Совместимость с многослойными процессами
  • • Отличная адгезия к большинству субстратов

По вопросам приобретения резистов на основе полиметилметакрилата PMMA и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам:

(495)-790-14-52

8-915-218-57-47

8-926-941-80-03