PMMA (полиметилметакрилат) — универсальный полимерный материал, который широко используется в микроэлектронике. Резист на основе ПММА- полимер ПММА ,растворенный в растворителе, таком как анизол (безопасный растворитель). Экспозиция вызывает расщепление полимерных цепей. PMMA чаще всего используется в качестве позитивного резиста с высоким разрешением в электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка ,предлагая чрезвычайно высокую разрешающую способность, легкость обработки и превосходные характеристики пленки. ПММА также используется в качестве защитного покрытия для утонения пластины, в качестве адгезионного соединения и защитного слоя.
Материал применяется:
|
Характеристики материала:
|
Сополимерные резисты производятся из смеси ПММА и ~ 8,5% метакриловой кислоты. Сополимер ММА (8,5) МАА обычно используется в сочетании с ПММА в двухслойных резистах для обратной литографии, в котором требуется регулирование размера и формы каждого слоя резиста . Стандартные сополимерные резисты сделаны из этиллактата и представлены в широком ассортименте толщины пленки. Все MCC ПММА и сополимерные резисты имеются в наличии емкостью от 500 мл до 20 литров.
Материал применяется:
|
Характеристики материала:
|
По вопросам приобретения резистов на основе полиметилметакрилата PMMA и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам:
(495)-790-14-52
8-915-218-57-47
8-926-941-80-03