Исключительные свойства AZ 40 XT

• толщина пленки резиста 15 — 100 мкм с помощью одного покрытия
  • щелочные проявители на водной основе  (напр. AZ 326/726/826 MIF)
  • Нет необходимости в регидратации, во время экспозиции не образуется  N2
  • Очень хорошая адгезия, очень крутые боковые стенки резиста
  • Может быть удален сухими и влажными химикатами
  • Оптимизированы  для электроосаждения, мокрого и сухого травления
  • фасовка по 100 мл, 250 мл, 1000 мл и 3,78 л

Общая информация

AZ 40 XT — химически усиленный толстослойный позитивный резист. Область применения AZ 40 XT начинается с 15 — 30 мкм, поскольку литографические процессы с обычными позитивными резистами занимают много времени из-за увеличения задержек для регидратации из –за выхода газа N2-, что не требуется для AZ 40 XT.
Даже при большой толщине пленки резиста , AZ 40 XT требуется короткое время для термообработки при невысокой температуре, без задержки для регидратации. AZ 40 XT  выделяет очень малые дозы облучения из-за химического улучшения характеристик и имеет высокую скорость проявления. Таким образом, обработка AZ 40 XT идет значительно быстрее по сравнению с обычными толстослойными резистами.
Следующие особенности должны быть рассмотрены при работе с AZ 40 XT:

• Максимальная температура при термообработке при невысокой температуре не должна применяться резко, чтобы предотвратить образование пузырьков в пленке резиста. Мы рекомендуем использование бесконтактного плиты или линейного изменения температуры на контактной плите.
  • Для AZ 40 XT, сушка проявленного является фоторезиста обязательной для того, чтобы завершить фотореакцию и проявить резист.

По вопросам приобретения  AZ 40 XT и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.