Фоторезист TI 35ESX

Устойчивость к перевороту изображения

Общая информация

Резист TI 35 ESX специально разработан для применения в так называемой «технологии инвертирования изображения» для:

• Последующее удаление осаждённых слоёв толщиной до 4 мкм
• Плазменное травление

Вязкость резиста определяет диапазон толщины в зависимости от скорости отжима от 2,5 до 3,5 мкм. Типичное соотношение сторон достигаемых структурных характеристик находится в диапазоне 1,0 — 2,0. Этот технический паспорт предназначен для того, чтобы дать вам представление о параметрах процесса для различных применений. Однако оптимальные значения, например, профиля отжима, экспозиционной дозы или проявления, зависят от конкретного оборудования и должны быть скорректированы с учетом каждой индивидуальной потребности.

Из-за необходимости второй экспозиции последовательность процессов будет проще при использовании негативного резиста, такого как **AZ^® nLof 20xx, и может стать хорошей альтернативой.

Свойства продукта

• Возможный негативный профиль боковой стенки в режиме разворота изображения
• Совместим со всеми распространёнными реагентами (на основе NaOH, KOH или TMAH)
• Совместим со всеми распространенными средствами для снятия изоляции (например, с AZ^® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
• Чувствительность к g-, h- и i-линиям (примерно 320–440 нм)
• Диапазон толщины защитной плёнки составляет примерно 2,5–3,5 мкм

Разработчики

Мы рекомендуем использовать для разработки на основе TMAH AZ^® 726 MIF, AZ^® 2026 MIF или AZ^® 400K 1:4 на основе буферного раствора KOH.

Средства для удаления

В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ^® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление, или во время ионной имплантации), мы рекомендуем для удаления не содержащий NMP TechniStrip P1316. AZ^® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся, трудноудаляемых остатков краски.

Истончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем использовать AZ^® EBR Solvent или PGMEA.