TechniEtch Cr01

Хромовый травитель

Общая информация

TechniEtch Cr01 — это готовая к использованию травильная смесь на основе нитрата церия и хлорной кислоты для травления Cr. TechniEtch Cr01 состоит из нитрата церия : хлорной кислоты : воды = 10,9% : 4,25% : 84,85% со скоростью травления около 60 нм/мин при комнатной температуре и подходит для производства интегральных схем.

Свойства продукта

• Скорость травления Cr при комнатной температуре 60-100 нм/мин
• Al, Ti, W, Ni при комнатной температуре от 10 до 200 нм/мин
• Cu, Ag, V сильно травятся > 200 нм/мин
• Au, Pd, Pt совместимы
• Совместим со смолой positive tone
• Может быть разбавлен для регулировки скорости травления Cr

Селективность

TechniEtch Cr01 совместим/вытравливает следующие материалы:

• Металлы: не воздействуют на Au, Pd, Pt
• Металлы: воздействие на Cr, Fe, Mo, Ni, Al, Ti, W, Cu, Ag, V, Co, Mg, Mn, Sn