Разбавитель для распыления MC PGMEA

Растворитель для распыления покрытий

Общая информация

Растворитель для распыления PGMEA — это растворитель для приготовления состава для распыления. Как следует из названия, этот растворитель состоит из PGMEA и различных поверхностно-активных веществ, которые помогают добиться оптимального результата при распылении.

Составы для распыления часто состоят из трёх компонентов: растворителя для распыления PGMEA с высокой температурой кипения, растворителя для распыления MEK с низкой температурой кипения и соответствующего резиста. В зависимости от соотношения смешивания и желаемого результата необходимо корректировать пропорции веществ.
Высокая доля PGMEA (низкое давление паров) позволяет создавать очень гладкие слои с умеренным покрытием кромок, в то время как состав с высоким содержанием MEK (высокое давление паров) позволяет создавать очень хорошее покрытие кромок, но сравнительно грубые слои.

Оптимальным компромиссом для смеси растворителей часто является соотношение MEK: PGMEA от 1:3 до 3:1. В зависимости от вязкости, необходимой для используемого распылителя, эта смесь растворителей добавляется в резист в соотношении от 1:3 до 1:10. Таким образом, одна часть отвердителя на 3 части смеси растворителей или одна часть отвердителя на 10 частей смеси растворителей.