Информация о продукте «PGMEA — 5,00 л — ULSI»
PGMEA
1-метокси-2-пропилацетат
Общая информация
PGMEA является основным растворителем/разбавителем почти для всех фоторезистов AZ® и TI благодаря низкому давлению паров и подавлению образования частиц в (дополнительно разбавленном) резисте. Кроме того, PGMEA часто используется для удаления краевых выступов, поскольку низкое давление паров предотвращает дальнейшее истончение покрытой резистивной пленки.
Свойства продукта
- Плотность: 0,97 г/см3
- Температура плавления: -66 °C
- Температура кипения: 125 °C
- Температура вспышки: 45°C
- Давление пара при 20 ° C: 5 ГПа
По вопросам приобретения MEK — 2,50 л — ULSI — EVE/EUD и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.