MC Dip Coating

Резист для нанесения покрытий методом погружения

Общая информация

Протрава для окунания MC Dip Coating Resist — это готовая к использованию (разбавленная) низкобюджетная протрава, оптимизированная для окунания с улучшенной однородностью толщины плёнки протравы в больших масштабах.

Свойства продукта

Протрава MC Dip Coating Resist — это недорогая, готовая к использованию (разбавленная) протрава с положительным тоном, оптимизированная для погружения в ванну с улучшенной крупномасштабной однородностью толщины протравочной плёнки. Её краситель позволяет быстро и легко визуально контролировать качество покрытия. Достижимая толщина протравочной плёнки составляет примерно 2–10 мкм при скорости вытягивания 3–15 мм/с. Протрава MC Dip Coating Resist содержит два растворителя: Низкокипящий MEK обеспечивает быстрое предварительное высыхание резиста, предотвращая стекание резиста на дно подложки (панелей), на которую наносится покрытие. Высококипящий (= медленно испаряющийся) PGMEA обеспечивает очень гладкую поверхность резиста.

Погружное покрытие

Для обеспечения высокой однородности покрытия рекомендуется скорость вытягивания 5–8 мм/с. Между этапами погружения в раствор рекомендуется накрывать резервуар, чтобы предотвратить испарение MEK и попадание частиц в жидкий резист. После нанесения покрытия рекомендуется подождать несколько минут при комнатной температуре, чтобы резист разгладился.

Разработчики

Мы рекомендуем разработчикам AZ^® Developer, AZ^® 400K и AZ^® 351B также использовать простые растворы NaOH, KOH и TMAH.

Сопротивляется удалению

Щелочные средства для снятия пленки, такие как AZ^® 100 Remover или прибл. Подойдет 3%-ный водный раствор KOH или NaOH. Для удаления фоторезиста также подходят многие органические растворители.