Концентрат TechniEtch^™ TBR19

Травитель Ti, TiW и олова

Общая информация

TechniEtch^™ TBR19 — это химический концентрат для травления Ti с низким содержанием кислоты для медных столбиков для самостоятельного смешивания. Концентрат TechniEtch^™ TBR19 совместим с большинством материалов для металлизации под столбиками (UBM) и интеграции медных столбиков, таких как Cu, Al, Ni и сплавы, стекло, органические подложки и большинство пластмасс, таких как полипропилен, ПЭНП, PFA, PTFE Kalrez, PEEK, PE. Скорость травления при 50 °C составляет около 1000 А/мин.

Примечание: для правильного смешивания TechniEtch^™ концентрата TBR19 рекомендуется соотношение 94 : 6 (94 весовых процента H2O2 и 6 весовых процентов концентрата TBR19). Это означает, что после смешивания 500 мл TechniEtch^™ концентрата TBR19 с соответствующим количеством H2O2 вы получите примерно 8 литров готового раствора для травления.

Свойства продукта

• Высокая селективность
• Значительное уменьшение подрезки по сравнению с обычными SC1 и HF
• Длительный срок службы ванны
• Настраиваемая скорость травления

Селективность

TechniEtch^™ TBR19 совместим/применим для следующих материалов:

• Металлы: не воздействуют на Cu, Al, Ni, Sn
• Металлы: воздействие на олово, TiW, Ti, SnPd