HMDS

Повышение адгезии

Общая информация

HMDS (гексаметилдисилазан) — это не содержащий ионов металлов усилитель адгезии между подложкой и фоторезистом, который наносится из газовой фазы на нагретые подложки и тем самым химически связывается с поверхностью подложки.

Как работает HMDS

На поверхностях, не содержащих воду, HMDS химически связывает свой атом кремния с кислородом окисленных поверхностей, что сопровождается выделением аммиака (NH3). Таким образом, метильные группы фрагмента HMDS образуют гидрофобную поверхность и тем самым улучшают сопротивление смачиванию и адгезию.

Как применять HMDS

Правильное нанесение HMDS очень важно для того, чтобы не ухудшить адгезию резиста: в так называемом барботере безводный азот насыщается при комнатной температуре парами HMDS. Смесь N2 + HMDS наносится на нагретую (75–120 °C) безводную подложку, образуя тонкий слой химически связанных групп Si (CH3)3, отвечающих за желаемые гидрофобные свойства.

Как не применять HMDS

При нанесении HMDS методом центрифугирования на поверхности образуется толстая (= более одного монослоя) пленка HMDS, которая не вытесняет воду и не вступает в химическую реакцию. После нанесения резиста во время мягкого обжига этот избыток HMDS выделяет аммиак, который проникает в резист и сшивает смолу рядом с подложкой. В результате сквозная проявка иногда становится невозможной.
По этой же причине НИКОГДА не наносите HMDS методом центрифугирования. Пары HMDS проникают во все резистивные плёнки, на которые впоследствии наносится покрытие, и частично сшиваются с резистивной плёнкой во время мягкого обжига, что снижает скорость проявления и может ухудшить профиль резистивной плёнки и достижимое разрешение.