AZ^® PL 177

Положительный Густой резистент

Общая информация

AZ^® PL 177 — это жидкий фоторезист с положительным тоном для применения в различных технологиях нанесения покрытий, особенно при производстве печатных плат. AZ^® PL 177 окрашен в сине-фиолетовый цвет для удобства проверки после нанесения покрытия. Его можно использовать для нанесения покрытия методом центрифугирования, а также для погружения, распыления или нанесения валиком. Он особенно хорошо подходит для химического травления из-за своих выдающихся адгезионных свойств и химической стабильности. Это резист общего назначения, подходящий для всех областей применения, где не требуется высокое разрешение и высокая термостабильность. AZ^® PL 177 — более недорогой резист для менее требовательных к разрешению и крутизне стенок. При толщине резистной плёнки около 5 мкм при 4000 об/мин возможно разрешение около 4–5 мкм.

Свойства продукта

• Хорошие характеристики при высыхании
• Способность к водно-щелочной обработке
• Рецептура на основе PGMEA
• Очень хорошие адгезионные свойства ко многим типам подложек
• Синий / фиолетовый цвет для удобства контроля
• Совместим со всеми распространенными средствами для снятия изоляции (например, с AZ^® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
• Чувствителен к g-, h- и i-линиям (приблизительно 320–440 нм)
• Диапазон толщины резистивной пленки приблизительно 4-8 мкм

Разработчики

В качестве разработчика мы рекомендуем AZ^® 351B на основе NaOH, AZ^® 400K на основе KOH или AZ^® 2026 MIF на основе TMAH. AZ Developer и даже простые водные растворы KOH или NaOH.

Средства для удаления

В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ^® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление, или во время ионной имплантации), мы рекомендуем не содержащий NMP TechniStrip P1316 в качестве средства для удаления. AZ^® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся или трудноудаляемых остатков краски.

Утончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем AZ^® EBR Solvent, PGMEA или MEK. AZ^® EBR 70/30 Solvent также подходит для удаления наплывов.