Информация о продукте «Фоторезист AZ P4903 — 3,785 л»
AZ® P4903
Положительное сопротивление при высокой температуре — AZ® P4110, AZ® P4330, AZ® P4903, AZ® P4620
Общая информация
Серия AZ® P4000 позитивного резиста с компонентами AZ® P4110, AZ® P4330, AZ® P4620 и AZ® P4903 обладает двумя основными характеристиками: улучшенная адгезия ко всем распространённым подложкам для более высокой стабильности, например, при влажном травлении или гальванизации, и более низкая концентрация фотоактивного соединения, что позволяет наносить толстые и очень толстые резистивные плёнки (примерно 1–30 мкм). Эта серия резисторов обладает средней термостабильностью и может быть разработан с использованием обычных растворов на основе KOH или TMAH.
Свойства продукта
- Оптимизированная адгезия ко всем распространенным материалам подложки
- Широкий диапазон технологических параметров для стабильных и воспроизводимых лито-процессов
- Совместим со всеми распространёнными разработками (на основе KOH или TMAH)
- Совместим со всеми распространенными средствами для снятия краски (например, с AZ® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
- Чувствителен к g-, h- и i-линиям (приблизительно 320–440 нм)
- Диапазон толщины защитной плёнки составляет примерно 10–35 мкм
Разработчики
Если можно использовать проявители, содержащие ионы металлов, то проявитель AZ® 400K на основе KOH в разведении 1:4 или финишный проявитель AZ® 400K 1:4 (для более толстых пленок резиста возможно разведение 1:3,5 — 1:3) является подходящим проявителем. Если необходимо использовать проявители без ионов металлов, мы рекомендуем проявитель AZ® 2026 MIF на основе TMAH (в неразбавленном виде).
Средства для удаления
В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление, или во время ионной имплантации), мы рекомендуем не содержащий NMP TechniStrip P1316 в качестве средства для удаления. AZ® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся или трудноудаляемых остатков краски.
Истончение / Удаление краевых выступов
Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем AZ® EBR Solvent или PGMEA. AZ® EBR70/30 Solvent также подходит для удаления наплывов.
По вопросам приобретения Фоторезист AZ P4903 и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.