AZ^® 4999

Напыляемое покрытие

Общая информация

AZ^®4999 — это специальный высокопрозрачный фоторезист для напыления, разработанный для использования на специальном оборудовании для напыления (например, SUSS Delta AltaSpray), где он обеспечивает получение бездефектных и конформных покрытий на устройствах с сложной топографией. Толстые (от нескольких до нескольких десятков микрон) и равномерные резистивные покрытия получаются на таких топографических элементах, как V-образные канавки и траншеи, с оптимальным покрытием острых углов. В траншеях не скапливается резист. Использование фоторезиста AZ^®4999 обеспечивает высокую воспроизводимость при массовом производстве.

Свойства продукта

• Вязкость (при 25°C): 0,52 сСт
• Содержание твердых веществ: 4 %
• Коэффициент поглощения при 398 нм: 0,1 л/(г*см) Спектральная чувствительность: 310–440 нм

Разработчики

Если можно использовать проявители, содержащие ионы металлов, то проявитель AZ^® 400K на основе KOH в разбавлении 1:4 (для более толстых пленок резиста возможно разбавление 1:3,5 — 1:3) является подходящим проявителем.
Если необходимо использовать проявители без ионов металлов, мы рекомендуем проявитель AZ^® 2026 MIF на основе TMAH (в неразбавленном виде).

Средства для удаления

В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ^® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление, или во время ионной имплантации), мы рекомендуем не содержащий NMP TechniStrip P1316 в качестве средства для удаления. AZ^® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся, трудноудаляемых остатков краски.

Истончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем использовать AZ^® EBR Solvent или PGMEA.

По вопросам приобретения Фоторезист AZ 4999 — 3,785 л — EUD/EVE и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.