AZ^® 4533

Плотные материалы с оптимальной адгезией

Общая информация

Серия AZ^® 4500 (AZ^® 4533 и AZ^® 4562) — это позитивные толстые фоторезисты с оптимизированной адгезией для обычных процессов мокрого травления и гальванического покрытия. Серия AZ^® 4500 следует за серией AZ^® 1500 в диапазоне достижимой и обрабатываемой толщины фоторезиста. AZ^® 4533 (толщина пленки резиста 3,3 мкм при 4000 об/мин) и AZ^® 4562 (6,2 мкм) имеют более низкую концентрацию фотоинициатора по сравнению с тонкими резистами. Это позволяет обрабатывать резистивные пленки толщиной более 10 мкм без образования пузырьков N2, но за счет значительно более низкой скорости проявления.

Свойства продукта

• Оптимизированная адгезия ко всем распространенным материалам подложки
• Широкий диапазон технологических параметров для стабильных и воспроизводимых лито-процессов
• Совместим со всеми распространёнными разработками (на основе KOH или TMAH)
• Совместим со всеми распространенными средствами для снятия изоляции (например, с AZ^® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
• Чувствителен к g-, h- и i-линиям (приблизительно 320–440 нм)
• Диапазон толщины защитной плёнки составляет примерно 2,5–5 мкм

Разработчики

Если можно использовать проявители, содержащие ионы металлов, то подходящим проявителем является AZ^® 400K на основе KOH в разведении 1:4 или в неразбавленном виде AZ^® 400K 1:4 (для более толстых пленок резиста возможно разведение 1:3,5 — 1:3). Если необходимо использовать проявители без ионов металлов, мы рекомендуем AZ^® 2026 MIF на основе TMAH (в неразбавленном виде).

Средства для удаления

В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ^® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление, или во время ионной имплантации), мы рекомендуем не содержащий NMP TechniStrip P1316 в качестве средства для удаления. AZ^® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся, трудноудаляемых остатков краски.

По вопросам приобретения Фоторезист AZ 4533 — 3,785 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.