AZ^® 40XT

Химически усиленный Толстый фоторезист

Общая информация

AZ^® 40XT для толщины фоторезиста от 15 до 100 мкм (i-линия) Химически усиленный AZ^® 40 XT — это ультратолстый фоторезист, высокая вязкость которого позволяет получать очень толстые слои фоторезиста за одно нанесение. Он не требует повторного увлажнения, требует низкой дозы света, не выделяет азот во время экспонирования и очень быстро проявляется, что позволяет значительно сократить время процесса по сравнению со стандартными толстыми слоями фоторезиста. Однако для AZ^® 40XT обязательно требуется постобработка.

Примечание: максимальная температура мягкого выпекания не должна повышаться резко, чтобы предотвратить образование пузырьков в резистивной плёнке. Мы рекомендуем использовать либо бесконтактную нагревательную панель, либо контактную нагревательную панель с плавным повышением температуры. Правильное плавное повышение температуры имеет решающее значение для обработки резиста без пузырьков.

Свойства продукта

• Толщина резистивной плёнки 15–100 мкм при однослойном нанесении
• Водные щелочные проявители (например, AZ^® 326/726/2026 MIF)
• Не требуется регидратации, не образуется N2 во время воздействия
• Очень хорошая адгезия, боковины из очень прочного материала
• Можно удалять влажным и сухим химическим способом
• Оптимизирован для нанесения гальванических покрытий, мокрого и сухого травления
• чувствительность к i-линии (приблизительно 330–390 нм)

Разработчики

Мы рекомендуем использовать стандартные разработки на основе TMAH, такие как AZ^® 326 MIF, AZ^® 726 MIF или AZ^® 2026 MIF.

Средства для удаления

Фоторезист AZ^® 40XT совместим с промышленными стандартными растворителями (например, NMP, DMSO, AZ^® 920 Remover или Technistrip MLO07).

Истончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем AZ^® EBR Solvent или PGMEA. AZ^® EBR70/30 Solvent также подходит для удаления наплывов.

По вопросам приобретения Фоторезист AZ 40XT-11D — 3,785 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.