AZ^® 15nXT (115CPS)

Толстый негативный резист для нанесения покрытий

Общая информация

AZ^® 15nXT (115CPS) для резистивных пленок толщиной от 3 до 6 мкм (i-line)

AZ^® 15nXT (115CPS) представляет собой негативный резист для пленок толщиной до ок. 6 мкм при толщине пленки резиста 3,5 мкм при 4000 об / мин. Характер сшивания и очень хорошая адгезия к резисту делают его стабильным, например, для всех традиционных гальванических покрытий. При толщине резистивной плёнки до 6 мкм боковые стенки резиста вертикальные, а при большей толщине плёнки становятся всё более отрицательными (подрезанными), так что формованные металлические структуры сужаются кверху. После экспонирования обязательно проводится термическая обработка для осуществления сшивки, которая начинается во время экспонирования.

Свойства продукта

• толщина пленки сопротивления 3-6 мкм при нанесении одного покрытия
• Водные щелочные проявители, предпочтительно AZ^® 2026 MIF
• Превосходная адгезия, отсутствие нижнего покрытия
• Широкая совместимость с подложками: Cu, Au, Ti, NiFe, …
• Широкая совместимость с нанесением покрытий: Cu, Ni, Au, …
• Стандартные процессы мокрой зачистки
• Почти вертикальные углы боковых стенок

Разработчики

Мы рекомендуем использовать готовую к применению программу AZ^® 2026 MIF Developer на базе TMAH. AZ^® 326 MIF и AZ^® 726 MIF также возможны к использованию.

Средства для удаления

Рекомендуемым средством для удаления AZ^® 15nXT является нетоксичное средство TechniStrip NI555, не содержащее NMP, или AZ^® 910 Remover, которое совместимо со всеми распространенными (даже чувствительными к щелочам) материалами подложки и может даже растворять (а не только удалять с подложки) перекрестно-сшитые резистивные пленки AZ^® 15nXT. Такие растворители, как NMP или нетоксичный заменитель диметилсульфоксид, подходят для удаления резиста, если толщина плёнки резиста и степень её сшивки не слишком высоки. Как правило, для ускорения удаления резиста в случае очень толстых или сильно сшитых плёнок резиста может потребоваться нагрев этих растворителей до 60–80 °C или/и ультразвуковая обработка.

Утончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем использовать AZ^® EBR Solvent или PGMEA.

По вопросам приобретения Фоторезист AZ 15nXT (115cps) — 3,785 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.