AZ^® 1518

Положительные тонкие резисты для мокрого травления

Общая информация

Серия AZ^® 1500 фоторезистов обеспечивает улучшенную адгезию для всех распространенных процессов мокрого травления. Боковое разрешение зависит от толщины фоторезиста и достигает субмикронного уровня. Повышенная толщина фоторезиста AZ^® 1518 улучшает стабильность фоторезистной маски для процессов мокрого травления. При 4000 оборотах в минуту можно получить толщину покрытия около 1,8 мкм. Толщину покрытия примерно 1,5–3,0 мкм также можно получить, изменяя скорость вращения.

Свойства продукта

• Улучшенная адгезия ко всем распространенным материалам подложки
• Широкий диапазон технологических параметров для стабильных и воспроизводимых лито-процессов
• Высокая скорость разработки
• Совместим со всеми распространёнными реагентами (на основе NaOH, KOH или TMAH)
• Совместим со всеми распространенными средствами для снятия краски (например, с AZ^® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
• Чувствителен к g-, h- и i-линиям (приблизительно 320–440 нм)
• Диапазон толщины защитной плёнки составляет примерно 1,5–3,0 мкм

Разработчики

Если можно использовать проявители, содержащие ионы металлов, то проявитель AZ^® 351B на основе NaOH в разведении 1:4 (для требуемого разрешения < 1 мкм рекомендуется разведение 1:5 — 1:6) является подходящим проявителем. Проявитель AZ^® 400K на основе KOH (также в разведении 1:4 — 1:6) возможен, но из-за его меньшей селективности не рекомендуется, если требуется высокое разрешение или крутые боковые стенки резиста. Если необходимо использовать проявитель без ионов металлов, мы рекомендуем проявитель AZ^® 326 MIF или AZ^® 726 MIF на основе TMAH, неразбавленный или — для максимального разрешения — разбавленный водой в соотношении 3:1 — 2:1 (3 части проявителя: 1 часть дистиллированной воды).

Средства для удаления

В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ^® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление или во время ионной имплантации), мы рекомендуем не содержащий NMP TechniStrip P1316 в качестве средства для удаления. AZ^® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся, трудноудаляемых остатков краски.

Истончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем AZ^®растворитель EBR.

По вопросам приобретения Фоторезист AZ 1518 — 3,785 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.