AZ® 15nXT (450CPS)
Толстый негативный резист для нанесения покрытий
Общая информация
AZ® 15nXT (450 кадров в секунду) для резистивной пленки толщиной 5-20 мкм (i-line) AZ® 15nXT (450 кадров в секунду) представляет собой негативный резист для пленок толщиной до ок. 20 мкм, толщина резистивной пленки ~ 6 мкм при 4000 оборотах в минуту. Благодаря поперечным связям и очень хорошей адгезии к резисту он стабилен, например, при всех обычных способах гальванического покрытия. При толщине резиста до 10 мкм боковые стенки резиста вертикальные, а при большей толщине — более отрицательные (подрезанные), так что формованные металлические структуры сужаются кверху. Для завершения поперечных связей, начавшихся во время экспонирования, необходима последующая термическая обработка.
Свойсва продукта
- Толщина резистивной плёнки 5–20 мкм при однослойном нанесении
- Водные щелочные проявители, предпочтительно AZ® 2026 MIF
- Превосходная адгезия, отсутствие нижнего покрытия
- Широкая совместимость с подложками: Cu, Au, Ti, NiFe, …
- Широкая совместимость с нанесением покрытий: Cu, Ni, Au, …
- Стандартные процессы мокрой зачистки
- Почти вертикальные углы боковых стенок
Разработчики
Мы рекомендуем использовать готовую к применению программу AZ® 2026 MIF Developer на базе TMAH. AZ® 326 MIF и AZ® 726 MIF также возможны к использованию.
Средства для удаления
Рекомендуемым средством для удаления AZ® 15nXT является нетоксичное средство TechniStrip NI555, не содержащее NMP, или AZ® 910 Remover, которое совместимо со всеми распространенными (даже чувствительными к щелочам) материалами подложки и может даже растворять (а не только удалять с подложки) сшитые резистивные пленки AZ® 15nXT.
Такие растворители, как NMP или нетоксичный заменитель DMSO, подходят для удаления резиста, если толщина резистной плёнки и степень её сшивки не слишком высоки.
Как правило, для ускорения удаления резиста в случае очень толстых или сильно сшитых резистных плёнок может потребоваться нагрев этих растворителей до 60–80 °C и/или ультразвуковая обработка.
Утончение / Удаление краевых выступов
Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем использовать AZ® EBR Solvent или PGMEA.
По вопросам приобретения Фоторезист AZ 15nXT (450cps) — 3,785 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.