AZ^® 125nXT-10B

Сверхтолстый негативный резист для нанесения покрытий

Общая информация

AZ^® 125nXT-10B для толщины резистивной плёнки от 25 до 200 мкм (i-линия)AZ^® 125nXT-10B — это негативный резист для плёнок толщиной до 100 мкм с очень высокой крутизной стенок. И даже больше (толщина плёнки резиста 1 мм!) с очень крутыми боковыми стенками и специальными методами нанесения. Сшитая структура и очень хорошая адгезия резиста делают его устойчивым при всех обычных способах гальванического покрытия. Этот резист не требует запекания после экспонирования.

Свойства продукта

• Толщина резистивной плёнки 30–100 мкм при однослойном нанесении
• Возможна толщина резистивной пленки до 1 мм
• Водные щелочные проявители (например, AZ^® 326/726/2026 MIF)
• Отсутствие запекания после экспозиции, фотополимеризация во время экспозиции
• Не требуется регидратация, не образуется N2 во время воздействия
• Очень хорошая адгезия, без нижнего покрытия
• Процессы мокрой очистки (например, TechniStrip P1316)
• Оптимизирован для нанесения гальванических покрытий, мокрого и сухого травления

Разработчики

Мы рекомендуем использовать готовую к применению программу AZ^® 2026 MIF Developer на базе TMAH. AZ^® 326 MIF и AZ^® 726 MIF также возможны к использованию.

Средства для удаления

Рекомендуемым средством для удаления AZ^® 125nXT-10B является TechniStrip P1316, не содержащее NMP. В случае чувствительных к щелочи материалов подложки используйте TechniStrip P1331 или TechniStrip MLO07.
Такие растворители, как NMP или нетоксичный заменитель DMSO, подходят для удаления, если толщина плёнки резиста и степень сшивки не слишком высоки. Как правило, для ускорения удаления резиста в случае очень толстых плёнок резиста может потребоваться нагрев растворителя до 60–80 °C или/и ультразвуковая обработка.

Истончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем использовать AZ^® EBR Solvent или AZ^® EBR Solvent 70/30.