AZ^® 10XT (520 кадров в секунду)

Толстые резисты для получения высокого разрешения

Общая информация

По сравнению с резистами AZ^® 4500 серии, резисты AZ^® 10XT имеют более низкое оптическое поглощение. Это упрощает экспонирование (в том числе очень) толстых плёнок резиста. Таким образом, в сочетании с отсутствием чувствительности к линии g резистам AZ^® 10XT требуется более длительное время экспонирования в широкополосном режиме, а скорость проявления ниже, чем у плёнок AZ^® 4500, обработанных в тех же условиях. С другой стороны, AZ^® 10XT обеспечивает очень высокое соотношение сторон и разрешение. Для меньшей толщины резистивной плёнки мы рекомендуем разбавлять её PGMEA = AZ^® растворителем EBR. Приведённая ниже толщина резистивной плёнки соответствует 4000 об/мин при стандартных условиях:

• 4,0 мкм: 100 г AZ^® 10XT + 13 г PGMEA
• 3,0 мкм: 100 г AZ^® 10XT + 23 г PGMEA
• 2,0 мкм: 100 г AZ^® 10XT + 42 г PGMEA
• 1,5 мкм: 100 г AZ^® 10XT + 55 г PGMEA
• 1,0 мкм: 100 г AZ^® 10XT + 88 г PGMEA

AZ^® 10XT — это альтернатива AZ^® 9260, не содержащая ПФОС, производство которой было прекращено в 2019 году. Вязкость и технологические параметры идентичны прежнему AZ^® 9260.

Линии толщиной 3,0 мкм в слое AZ^® 10XT Ultratech 1500 толщиной 12 мкм, проявитель AZ^® 400K 1:4 (распыление в течение 260 секунд)

Свойства продукта

• Хорошая адгезия ко всем распространенным материалам подложки
• Совместим со всеми распространёнными разработками (на основе KOH или TMAH)
• Совместим со всеми распространенными средствами для снятия краски (например, с AZ^® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
• Чувствителен к h- и i-линиям (приблизительно 320–410 нм)
• Диапазон толщины резистивной пленки приблизительно от 5 до 30 мкм

Разработчики

Рекомендуемыми проявителями для фоторезиста AZ^® 10XT являются AZ^® 400K 1:4 или AZ^® 726 MIF. В случае очень толстых пленок фоторезиста для быстрого проявления может быть использована довольно высокая концентрация проявителя, например AZ^® 400K 1:3,5 — 1:3,0.

Средства для удаления

В качестве съемника для несшитых резистивных пленок можно использовать AZ^® 100 Remover, DMSO или другие распространенные органические растворители. Если пленка резиста сшита (например, при высоких температурах > 140 ° C, во время плазменных процессов, таких как сухое травление или во время ионной имплантации), мы рекомендуем не содержащий NMP TechniStrip P1316 в качестве средства для удаления. AZ^® 920 Remover также может стать хорошим выбором в случае сильно въевшихся, трудноудаляемых остатков краски.

Истончение / Удаление краевых выступов

Для разбавления мы рекомендуем AZ^®растворитель EBR.

По вопросам приобретения Фоторезист AZ 10XT (520cP) — 3,785 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.