Информация о продукте «AZ LNR-003 в разбавленном виде — 1:0,3 с PGMEA — 1,00 л»
AZ® LNR-003 в разведении 1:0,3 с PGMEA
Отрицательный резист для снятия
Общая информация
AZ® LNR-003 — это негативный фоторезист для пленок толщиной от 3 до 5 мкм (разбавляется до 1 мкм), который обеспечивает регулируемый и глубокий подрез (негативный профиль фоторезиста) даже при небольшой толщине фоторезиста, что позволяет использовать его для сложных процессов снятия фоторезиста. Его высокая термостабильность предотвращает термическое оплавление во время нанесения покрытия, обеспечивая воспроизводимые результаты снятия фоторезиста.
Свойства продукта
- Высокое разрешение
- Очень сильная подрезка для отрыва
- Совместим с проявителями на основе TMAH, возможны другие проявители
- Совместим со всеми распространенными средствами для снятия изоляции (например, с AZ® 100 Remover, органическими растворителями или водными щелочными растворами)
- Чувствительность к инфракрасному излучению (приблизительно 320–390 нм)
- Диапазон толщины резистивной пленки приблизительно 3-5 мкм
- Высокая термостойкость
Разработчики
Мы рекомендуем использовать в качестве разработчиков AZ® 2026 MIF, AZ® 326 MIF или AZ® 726 MIF на основе TMAH. Также можно использовать другие разработчики на основе NaOH или KOH.
Средства для удаления
Мы рекомендуем средства для удаления, не содержащие NMP, такие как AZ® 910 Remover или TechniStrip NI555, а также, в случае чувствительных к щелочи материалов, таких как алюминий, TechniStrip MLO07, которые растворяют также сшитые резистивные плёнки.
Утончение / Удаление краевых выступов
Для разбавления и удаления наплывов мы рекомендуем AZ®растворитель EBR.
По вопросам приобретения AZ LNR-003 и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.