AZ ^® BARLi^TM II 200

Просветляющее покрытие

Общая информация

AZ^® BARLi^TM II представляет собой покрытие нижнего просветляющего слоя для использования на поверхностях с высокой отражающей способностью в полупроводниковой промышленности. Он разработан для работы в качестве просветляющего слоя между фоторезистом и подложкой и оптимизирован для инструментов экспонирования i-line. По завершении процесса литографии на AZ^® BARLi^TM II наносится рисунок методом сухого травления.

Свойства продукта

AZ^®BARLi^TM II — это материал для нанесения покрытия, который растворяется в растворителях, совместимых с фоторезистом, что упрощает процесс EBR и делает его безопасным для окружающей среды и удобным для пользователя. AZ^®BARLi^TM II разработан таким образом, чтобы обеспечить почти оптимальные значения показателей преломления (n и k) для i-литографии, что гарантирует минимальную отражательную способность и максимальное уменьшение размаха для слоев фоторезиста. Этот материал, состоящий из высокопоглощающих красителей, связанных с полимером, обеспечивает превосходную равномерность нанесения и покрытие ступеней. AZ^®BARLi^TM II обладает высокой селективностью травления (сравнимой с AZ^®BARLi^TM) и высокой термостойкостью до 230°C. Он не смешивается с фоторезистом при температуре выше 180°C. AZ^®BARLi^TM II выпускается в двух вариантах толщины: 900 A и 2000 A, чтобы обеспечить оптимальную толщину пленки для первого и второго минимума колебаний соответственно при скорости вращения около 3000 об/мин.

Разработчики

Без ограничений.

Средства для удаления загрязнений

Сухое травление.

Удаление краевых выступов

Для достижения наилучших результатов мы рекомендуем AZ^® EBR 70/30 для удаления наплывов.

По вопросам приобретения AZ Barli II 200 — 0,25 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.