AZ Aquatar ®-VIII A 45
Просветляющее покрытие
Общая информация
AZ® Aquatar -VIII A45 — это верхнее антибликовое покрытие для использования с g- и i-линиями. AZ® Aquatar -VIII A45 действует как оптическое покрытие на границе раздела фоторезист/воздух и улучшает контрастность изображения. Также подавляется многократное отражение внутри фоторезиста, в результате чего амплитуда кривой качания обычно уменьшается на 1/3. Наносится очень просто: он просто наносится поверх фоторезиста, дополнительного цикла запекания не требуется, а стандартный цикл проявки удаляет его. Этот простой процесс значительно уменьшает изменение ширины линий в зависимости от рельефа, однако не устраняет отражающие надрезы.
Свойства продукта
AZ® Aquatar -VIII A45 верхнее антибликовое покрытие — это водный материал для использования с позитивными фоторезистами в полупроводниковой промышленности. Антибликовое покрытие значительно снижает амплитуду кривой изменения сопротивления. При оптимизации это изменение амплитуды кривой может быть уменьшено в три раза. Оптимальную толщину плёнки можно рассчитать с помощью следующей функции:
Толщина пленки = лямбда : 4n
лямбда = длина волны света экспозиции n = показатель преломления AZ® Aquatar
После экспонирования верхнее антибликовое покрытие AZ® Aquatar удаляется либо промывкой водой, либо самим водным проявителем. Как только антибликовое покрытие будет удалено, проявитель будет работать как обычно. Оптимизированный процесс подтверждается, когда видно, что исходная кривая изменения чувствительности проявителя сдвинута ровно на 180° по фазе относительно модифицированной кривой изменения чувствительности, полученной при использовании верхнего антибликового покрытия AZ® Aquatar. Если это не так, то всё равно будет наблюдаться значительное снижение размаха кривой, но не в такой степени, как при полностью оптимизированном процессе. При использовании фоторезистов AZ® i-line смещение изображения, обычно проявляющееся в виде разницы в размерах между плотными и изолированными линиями, значительно снижается до значений, близких к 0 %. Верхнее антибликовое покрытие не уменьшает отражательные дефекты, вызванные воздействием света, отражающегося от подложки. Для этого технологического процесса рекомендуется использовать антибликовое покрытие AZ® Aquatar, AZ® Barli.
Разработчики
Все водные щелочные проявители.
Средства для удаления
Не требуется, растворим в воде.
Утончение / Удаление выступов по краям
Не требуется, растворим в воде.
По вопросам приобретения AZ AQUATAR-VIII-A 45 — 0,25 л и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам.